宇量昇国产浸没式DUV光刻机小批量交付
上海国资背景企业（宇量昇科技/华为系SiCarrier体系）启动国产浸没式DUV光刻机小批量交付，2026年计划出货约5台供中芯国际、华虹、长鑫，2027年扩至20台，单次曝光支持28nm。
updated @ 2026-07-30 12:02:16
上海微电子装备（SMEE）作为国内光刻设备整机集成企业，已推出SSX600系列干式DUV设备，覆盖90nm及以上成熟制程，并应用于功率、显示、车规等领域。其SSA800系列193nm ArF浸没式DUV设备面向28nm制程，目前仍处于晶圆厂工艺验证阶段，多重曝光可探索14nm及更先进节点。网传“量产交付、良率90%+”尚缺权威确认。